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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2015    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高效率X射线光刻在单级光栅研制中的应用 期刊论文 微纳电子技术, 2015 作者:  谢常青;  朱效立;  施百龄 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/05/24