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Double-layer resist method to improve descum result when removing negative photoresist 期刊论文
MICRO & NANO LETTERS, 2019, 卷号: 14, 页码: 694-697
作者:  Yang, Zheng;  Wang, Qiusen;  Qi, Liping;  Wang, Xing;  Li, Kehong
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Preparation and Enhanced Hot Corrosion Resistance of a Zr-Doped PtAl2+(Ni, Pt)Al Dual-Phase Coating 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 2018, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 581-590
作者:  Jiang Chengyang;  Yang Yingfei;  Zhang Zhengyi;  Bao Zebin;  Zhu Shenglong
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Preparation and Enhanced Hot Corrosion Resistance of a Zr-Doped PtAl2+(Ni, Pt)Al Dual-Phase Coating 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 2018, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 581-590
作者:  Jiang Chengyang;  Yang Yingfei;  Zhang Zhengyi;  Bao Zebin;  Zhu Shenglong
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Enhancing aspect profile of half-pitch 32 nm and 22 nm lithography with plasmonic cavity lens 期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2015, 卷号: 106, 期号: 9, 页码: 93110
作者:  Gao, Ping;  Yao, Na;  Wang, Changtao;  Zhao, Zeyu;  Luo, Yunfei
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A method of fabricating vertical devices using a metal support film 专利
专利号: EP1502284B1, 申请日期: 2013-08-07, 公开日期: 2013-08-07
作者:  YOO, MYUNG, CHEOL
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/12/24
Fabrication and characterization of molecular scale field-effect transistors 期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY, 2010, 卷号: 20, 期号: 12, 页码: 2305-2309
作者:  Cao, Lingchao;  Chen, Shiyan;  Wei, Dacheng;  Liu, Yunqi;  Fu, Lei
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Optimization of resolution-enhancement technology and dual-layer bottom-antireflective coatings in hypernumerical aperture lithography 期刊论文
Journal of vacuum science & technology b, 2008, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: 534-540
作者:  Li, Yanqiu;  Zhou, Yuan
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2019/05/10
Electron beam lithography of HSQ/PMMA bilayer resists for negative tone lift-off process 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 5-6, 页码: 814
Yang, HF; Jin, AZ; Luo, Q; Li, JJ; Gu, CZ; Cui, Z
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半導体レ-ザ装置の製造方法 专利
专利号: JP1996012945B2, 申请日期: 1996-02-07, 公开日期: 1996-02-07
作者:  宮永 和恒;  杉野 隆;  広瀬 正則;  山本 敦也;  ▲吉▼川 昭男
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- 专利
专利号: JP1993074957B2, 申请日期: 1993-10-19, 公开日期: 1993-10-19
作者:  KAWADA HATSUMI;  YAMAMOTO MOTOYUKI;  NAGASAKA HIROKO
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