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基于表面等离激元的硅基微结构材料红外光学特性研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  刘小翼
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/23
大高宽比硬X射线波带片制作及聚焦测试 期刊论文
光学精密工程, 2017
作者:  谢常青;  王冠亚;  牛洁斌;  史丽娜;  李海亮
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2018/07/11
“轮廓加工”工艺及其应用研究 学位论文
: 湖南大学, 2017
作者:  陈艺勤
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2019/12/26
一种对纳米尺度元件进行套刻的方法 专利
专利号: CN201110087449.2, 申请日期: 2014-12-17, 公开日期: 2012-10-17
作者:  朱效立;  刘明;  谢常青;  方磊;  李冬梅
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2016/04/14
一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法 专利
专利号: CN201110279269.4, 申请日期: 2014-11-12, 公开日期: 2013-04-03
作者:  朱效立;  史丽娜;  李冬梅;  刘明;  谢常青
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2016/04/14
一种大高宽比衍射光学元件的制作方法 专利
专利号: CN201010544430.1, 申请日期: 2014-03-26, 公开日期: 2012-05-23
作者:  谢常青;  刘明;  朱效立;  史丽娜;  李海亮
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2015/05/14
自适应烟丝宽度测量方法及其应用研究 期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 7, 页码: 200-204
作者:  邸成良;  严伟;  胡松;  赵维一;  温若愚
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2016/11/23
基于旋转达曼光栅的多路并行激光直写系统 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  黄巍
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2016/11/28
在厚负性高分辨率电子束抗蚀剂HSQ上制作密集图形的方法 专利
专利号: CN200810116381.4, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2010-01-13
作者:  陈宝钦;  刘明;  赵珉;  朱效立
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2010/11/26
采用电子束直写曝光制作声表面波器件的方法 专利
专利号: CN200810222329.7, 申请日期: 2011-10-12, 公开日期: 2010-03-24
作者:  赵以贵;  刘明;  牛洁斌
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2010/11/26


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