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Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor 期刊论文
SENSORS AND MATERIALS, 2011, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 159-166
Wu,AM; Wei,X; Yang,ZF; Chen,J; Chen,M; Bi,DW; Zhang,ZX; Wang,X
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