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兰州大学 [2]
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期刊论文 [2]
发表日期
1984 [2]
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发表日期:1984
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激光在半导体学科中的应用
期刊论文
激光与红外, 1984, 期号: 11, 页码: 5-11
作者:
郑克全
;
张思玉
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提交时间:2015/04/27
激光退火:4027
太阳能电池:3632
半导体器件:3415
半导体材料:3119
离子注入:3048
欧姆接触:2993
载流子浓度:2970
多晶硅:2882
激光沉积:2636
热退火:2617
过量的硅-铝合金化能使电路性能下降
期刊论文
半导体技术, 1984, 期号: 5, 页码: 29-31
作者:
王万录
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提交时间:2015/04/27
铝合金化:6884
电路性能:6423
管芯:2297
熔坑:1191
n型:1040
产品成品:933
集成电路生产:914
电极间距:869
重测:813
性能良好:662
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