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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：高能物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用三层胶工艺X射线光刻制作T型栅 期刊论文 半导体学报, 2004, 期号: 3, 页码: 358-360 作者:  孙加兴;  叶甜春;  陈大鹏;  谢常青;  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2015/12/25 X射线光刻  PHEMT  T型栅  三层胶工艺   同步辐射光刻技术研究进展 期刊论文 核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 817-821 作者:  陈大鹏;  叶甜春;  谢常青;  李兵;  董立军 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2015/12/25 光刻  X射线光刻  下一代光刻  掩模