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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术 期刊论文 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 1-6 作者:  陈宝钦;  刘明;  徐秋霞;  薛丽君;  李金儒 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2010/05/26 微光刻技术  微纳米加工技术  电子束直写  匹配与混合光刻技术