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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：山东大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Uniform Metal-Assisted Chemical Etching for Ultra-High-Aspect-Ratio Microstructures on Silicon 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2019, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 143-153 作者:  Li, Liyi;  Tuan, Chia-Chi;  Zhang, Cheng;  Chen, Yun;  Lian, Gang 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2019/12/11 Metal-assisted chemical etching  silicon wet etch  high aspect ratio   Uniform Metal-Assisted Chemical Etching for Ultra-High-Aspect-Ratio Microstructures on Silicon 期刊论文 Journal of Microelectromechanical Systems, 2018 作者:  Li L.;  Tuan C.;  Zhang C.;  Chen Y.;  Lian G. 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2019/12/11 high aspect ratio.  Metal-assisted chemical etching  silicon wet etch