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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：兰州大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Computer simulation of 3D mask image based on self-adaptive model in VLSI lithography 会议论文 2009 WRI World Congress on Computer Science and Information Engineering, CSIE 2009, Los Angeles, CA, United states, March 31, 2009 - April 2, 2009 作者:  Peng, Fei Cao;  Lin, Cheng;  Xiao, Ping Zhang 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/01/18 Three dimensional  Computer science  Lithography  Simulators  Systems engineering  3D masks  Aerial images  Electromagnetic simulation  Gaussian filters  Hopkins  Image-based  Lithography process  Lithography systems  Off-axis illumination  Scalar quantities  Self-adaptive models  TE wave  Transmission cross coefficient