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科研机构
上海微系统与信息技术... [7]
内容类型
期刊论文 [7]
发表日期
2010 [1]
2004 [2]
2003 [1]
2000 [1]
1998 [1]
1997 [1]
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学科主题:Condensed Matter
内容类型:期刊论文
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Three-Dimensional Carrier Profiling of Individual Si Nanowires by Scanning Spreading Resistance Microscopy
期刊论文
ADVANCED MATERIALS, 2010, 卷号: 22, 期号: 36, 页码: 4020-4024
Ou, X
;
Das Kanungo, P
;
Kogler, R
;
Werner, P
;
Gosele, U
;
Skorupa, W
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:61/0
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提交时间:2011/12/17
MOLECULAR-BEAM EPITAXY
SILICON NANOWIRES
ELECTRICAL-PROPERTIES
SURFACE SEGREGATION
DIAMOND TIPS
GROWTH
RESOLUTION
GERMANIUM
DENSITY
Simulation and characterization on properties of AlN films for SOI application
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2004, 卷号: 459, 期号: 1-2, 页码: 41-47
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Zou,SC
;
Zheng,ZH
;
Shen,DS
;
Luo,EZ
;
Xie,Z
;
Sundaravel,B
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
DEPOSITION
MOSFETS
SILICON
GROWTH
Buried tungsten silicide layer in silicon on insulator substrate by smart-cut (R)
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2004, 卷号: 19, 期号: 11, 页码: 1329-1332
Luo,SH
;
Liu,WL
;
Zhang,M
;
Di,ZF
;
Wang,SY
;
Song,ZT
;
Lin,CL
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/24
DEPOSITION
GROWTH
FILMS
WSIX
Low temperature PECVD SiNx films applied in OLED packaging
期刊论文
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY, 2003, 卷号: 98, 期号: 3, 页码: 248-254
Huang,WD
;
Wang,XH
;
Sheng,M
;
Xu,LQ
;
Stubhan,F
;
Luo,L
;
Feng,T
;
Wang,X
;
Zhang,FM
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/24
LIGHT-EMITTING DEVICES
DEPOSITED SILICON-NITRIDE
ELECTROLUMINESCENT DEVICES
N FILMS
DIODES
DEGRADATION
PASSIVATION
LAYERS
GROWTH
Compositional and structural studies of DC magnetron sputtered SiC films on Si(111)
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2000, 卷号: 365, 期号: 1, 页码: 53-57
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Ren,CX
;
Zou,SC
;
Chen,DH
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
GROWTH
DEVICES
Control of the YSZ biaxial alignment on polycrystalline Ni-Cr substrates by ion beam selective resputtering
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 1998, 卷号: 312, 期号: 1-2, 页码: 27-31
Mao,YJ
;
Jiang,BY
;
Ren,CX
;
Zhang,F
;
Liu,XH
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/25
THIN-FILM ORIENTATION
BUFFER LAYERS
ASSISTED DEPOSITION
LASER DEPOSITION
ZIRCONIA FILMS
BOMBARDMENT
GROWTH
Phase evolution in boron nitride thin films prepared by a dc-gasdischarge assisted pulsed laser deposition
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 1997, 卷号: 293, 期号: 1-2, 页码: 17-21
Xin,HP
;
Shi,XH
;
Lin,CG
;
Xu,WP
;
Zheng,LR
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/25
STRESS-INDUCED FORMATION
SILICON
BN
DIAMOND
GROWTH
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