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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2010    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Research on the Surface Change of the Large Optic Plane Wafer In the Fast Polishing Process 其他 2010-01-01 Lin, Jing; Yang, Wei; Guo, Yinbiao; 林静; 杨炜; 郭隐彪 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/07/22 Research on the planarizaion of the large optic wafer in the fast polishing process 其他 2010-01-01 Yang Wei; Lin Jing; Guo YinBiao; 杨炜; 林静 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/07/22 Research on the with-in wafer non-uniformity (WIWNU) of the large quadrate optic in the fast polishing process 其他 2010-01-01 Guo Yinbiao; Yang Wei; Chen Zhen; Peng Yunfeng; 郭隐彪; 杨炜; 彭云峰 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/07/22 CHEMICAL-MECHANICAL PLANARIZATION