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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 An Improved Method for the Mechanical Behavior Analysis of Electrostatically Actuated Microplates Under Uniform Hydrostatic Pressure 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2015, 卷号: 24, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 474-485 作者:  Li, Zhikang;  Zhao, Libo;  Jiang, Zhuangde;  Ye, Zhiying;  Zhao, Yulong 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/12/02 electrostatic force  static deflection  pull-in voltage  electrostatically actuated microplate  uniform hydrostatic pressure  Capacitance variation   A Method to Evaluate the Influence of Different Substrate on Stress Mismatch Induced Deformation in MEMS Accelerometer 其他 2015-01-01 You, Jun; Tian, Dayu; He, Chunhua; Zhao, Qiancheng; Yang, Zhenchuan; Zhang, Dacheng; Yan, Guizhen 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/12/03 thermal reliability  temperature drift  deformation  capacitance variation  packaging  structural design   工艺参数变动下的三维互连电容快速模式建库方法 期刊论文 2010, 2010 张雷; 王习仁; 喻文健; 王泽毅; Zhang Lei; Wang Xiren; Yu Wenjian; Wang Zeyi 收藏  |  浏览/下载：2/0 Efficient extraction and analysis of 3-D interconnect capacitance while considering the floating dummies 期刊论文 2010, 2010 Zhang Meng-sheng; Yu Wen-jian; Wang Ze-yi 收藏  |  浏览/下载：2/0 Fast library-building method for 3D capacitance extraction with variation of process parameters 期刊论文 2010, 2010 Zhang Lei; Wang Xiren; Yu Wenjian; Wang Zeyi 收藏  |  浏览/下载：2/0