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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Investigation of microstructure and properties of ultrathin graded ZrNx self-assembled diffusion barrier in deep nano-vias prepared by plasma ion immersion implantation 期刊论文 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2018, 卷号: 427, 页码: 950-955 作者:  Zou, Jianxiong;  Liu, Bo;  Lin, Liwei;  Lu, Yuanfu;  Dong, Yuming 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/11/26 Cu interconnects  Electron energy loss spectroscopy  Graded ZrNx barrier  Plasma immersion ion implantation