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氮含量对(BCSiAlCr)N_(x)薄膜结构和耐腐蚀性能的影响
期刊论文
真空与低温, 2023, 卷号: 29, 期号: 01, 页码: 28-35
作者:
闫巨擘
;
赖振国
;
张斌
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提交时间:2023/12/07
磁控溅射
耐腐蚀性能
硬度
(BCSiAlCr)Nx薄膜
力学性能
反应磁控溅射制备CrN涂层的热稳定性
期刊论文
表面技术, 2022, 页码: 1-12
作者:
金玉花
;
程融
;
柴利强
;
张学希
;
王鹏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2022/07/19
CrN涂层
反应磁控溅射
热稳定性
氧化行为
释放
扩散阻挡
磁控溅射非晶硅薄膜质量的测量
期刊论文
金属功能材料, 2022, 卷号: 29, 期号: 02, 页码: 20-27
作者:
杨淞婷
;
张海民
;
项羽杰
;
罗永春
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2022/04/21
非晶硅薄膜
磁控溅射
质量标定
不确定度
脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响
期刊论文
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 192-199
作者:
高海洋
;
张斌
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提交时间:2023/12/08
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)
脉冲频率
TiN薄膜
微观组织
力学性能
金属氮化物涂层的高温摩擦学研究进展
期刊论文
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 3, 页码: 48-63
作者:
赖振国
;
贾倩
;
张斌
收藏
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浏览/下载:0/0
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提交时间:2023/12/08
氮化物涂层
磨损率
多层氮化物
电弧离子镀
磁控溅射
摩擦因数
基底的晶向和氧化层厚度对坡莫合金薄膜的影响
期刊论文
真空科学与技术学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 941-945
作者:
冯润东
;
张文伟
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2022/03/10
各向异性磁电阻
NiFe薄膜
基底
磁控溅射
X射线衍射
气体氢化处理对非晶硅薄膜电化学性能的影响
期刊论文
金属功能材料, 2021, 卷号: 28, 期号: 2021,28(05), 页码: 62-68
作者:
尤超
;
张海民
;
杨淞婷
;
罗永春
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2021/12/16
非晶硅薄膜
磁控溅射
气体氢化处理
质子型离子液体
电化学性能
磁控溅射制备各向异性磁电阻的工艺研究
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2021
作者:
冯润东
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2021/06/18
各向异性磁阻
磁控溅射
传感器
Ti掺杂MoS2薄膜的抗氧化性和电学性能
期刊论文
材料研究学报, 2020, 卷号: 35, 期号: 2, 页码: 59-64
作者:
谢明玲
;
张广安
;
史鑫
;
谭稀
;
高晓平
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2021/12/08
材料科学基础学科
MoS2薄膜
磁控溅射
抗氧化性
电学性能
基于磁控溅射法的尖晶石型湿敏薄膜的制备与研究
学位论文
中国科学院新疆理化技术研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:
阿龙嘎
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浏览/下载:47/0
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提交时间:2020/11/19
薄膜
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磁控溅射
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