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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Apparatus for semiconductor device fabrication diagnosis and prognosis 专利 专利号: US5719495, 申请日期: 1998-02-17, 公开日期: 1998-02-17 作者:  MOSLEHI, MEHRDAD M. 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/12/23 Sensor for semiconductor device manufacturing process control 专利 专利号: US5293216, 申请日期: 1994-03-08, 公开日期: 1994-03-08 作者:  MOSLEHI, MEHRDAD M. 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/12/23 Method and apparatus for real-time wafer temperature measurement using infrared pyrometry in advanced lamp-heated rapid thermal processors 专利 专利号: US4956538, 申请日期: 1990-09-11, 公开日期: 1990-09-11 作者:  MOSLEHI, MEHRDAD M. 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/12/23