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三维微纳结构的光刻及其表面形貌测量方法的研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:  邓钦元
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Spatial Modulation-Assisted Scanning White-Light Interferometry for Noise Suppression 期刊论文
IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2018, 卷号: 30, 期号: 4, 页码: 379-382
作者:  Deng, Qinyuan;  Liu, Junbo;  Tang, Yan;  Zhou, Yi;  Yang, Yong
收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2019/08/23
Surface and thickness measurement of transparent thin-film layers utilizing modulation-based structured-illumination microscopy 期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 2944-2953
作者:  Xie, Zhongye;  Tang, Yan;  Zhou, Yi;  Deng, Qinyuan
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2019/08/23
基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量 期刊论文
中国激光, 2018, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 604001-604007
作者:  邓钦元;  唐燕;  周毅;  杨勇;  胡松
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/08/23
Spatial modulation assisted scanning white-light interferometry for noise suppression 期刊论文
IEEE Photonics Technology Letters, 2017
作者:  Deng, Qinyuan;  Liu, Junbo;  Tang, Yan;  Zhou, Yi;  Yang, Yong
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2018/11/20
Fabrication of micro-optics elements with arbitrary surface profiles based on one-step maskless grayscale lithography 期刊论文
Micromachines, 2017, 卷号: 8, 期号: 10, 页码: 314
作者:  Deng, Qinyuan;  Yang, Yong;  Gao, Hongtao;  Zhou, Yi;  He, Yu
收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2018/11/20
Characterization of micro structure through hybrid interference and phase determination in broadband light interferometry 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 8, 页码: 2301-2306
作者:  Zhou, Yi;  Tang, Yan;  Zhu, Jiangping;  Deng, Qinyuan;  Yang, Yong
收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2018/11/20
Contrast enhancement of microsphere-assisted super-resolution imaging in dark-field microscopy 期刊论文
APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2017, 卷号: 10, 期号: 8
作者:  Zhou, Yi;  Tang, Yan;  Deng, Qinyuan;  Zhao, Lixin;  Hu, Song
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/11/20
Dimensional metrology of smooth micro structures utilizing the spatial modulation of white-light interference fringes 期刊论文
Optics and Laser Technology, 2017, 卷号: 93, 页码: 187-193
作者:  Zhou, Yi;  Tang, Yan;  Deng, Qinyuan;  Liu, Junbo;  Wang, Jian
收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2018/11/20
Dimensional metrology of micro structure based on modulation depth in scanning broadband light interferometry 会议论文
作者:  Zhou, Yi;  Tang, Yan;  Deng, Qinyuan;  Zhao, Lixin;  Hu, Song
收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2018/12/20

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