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上海大学 [2]
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期刊论文 [2]
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2007 [1]
2005 [1]
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氧化铝复合磨粒的抛光特性研究
期刊论文
润滑与密封, 2007, 卷号: 32, 页码: 82-85
作者:
雷红[1]
;
卢海参[2]
;
严琼林[3]
;
褚风灵[4]
;
丘海能[5]
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提交时间:2019/05/10
化学机械抛光(CMP)
氧化铝复合磨粒
玻璃基片
超细氧化铝抛光液的制备及其抛光特性研究
期刊论文
功能材料, 2005, 卷号: 36, 页码: 1425-1428
作者:
雷红[1]
;
褚于良[2]
;
屠锡富[3]
;
丘海能[4]
;
方亮[5]
收藏
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提交时间:2019/05/10
化学机械抛光(CMP)
硬盘基片
超细Al2O3粒子
抛光液
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