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三轴高g压阻式微加速度计的设计 期刊论文
2014
林杰; 林立伟; 郭航
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A high-performance multi-beam microaccelerometer for vibration monitoring in intelligent manufacturing equipment 期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2013, 卷号: 189, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 8-16
作者:  Liu, Yan;  Zhao, Yulong;  Wang, Weizhong;  Sun, Lu;  Jiang, Zhuangde
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硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试 Fabrication and Test of a Capacitive Biaxial Microaccelerometer 期刊论文
2012, 卷号: 25, 页码: 444-447
作者:  刘妤[1,2,3];  温志渝[1,2];  陈李[1,2];  杨红韵[3]
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/11/28
Investigation of a Unified LTCC-based Micromachining and Packaging Platform for High Density/Multifunctional Microsystem Integration 其他
2012-01-01
Miao, Min; Jin, Yufeng; Gan, Hua; Zhang, Jing; Qiu, Yunsong; Zhang, Yang; Zhang, Yangfei; Cao, Rui; Li, Zhensong; Wang, Zhengyi; Mu, Fangqing; Gao, Chengchen
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/16
The Double-bridge Beam Structure with Slots for Microaccelerometer 会议论文
作者:  Sun, Lu;  Zhao, Yulong;  Liu, Yan;  Gao, Xinhao
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Incorporation of the stress concentration slots into the flexures for a high-performance microaccelerometer 期刊论文
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2012, 卷号: 83, 期号: [db:dc_citation_issue]
作者:  Zhao, Yulong;  Sun, Lu;  Liu, Yan;  Wang, Weizhong;  Tian, Bian
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/10
A Closed-Loop Switched-Capacitor Interface for High-Quality Microaccelerometer 会议论文
IEEE Sensors 2010 Conference, 美国, 40483
叶珍华; 王瑜; 尹韬
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A Closed-Loop Switched-Capacitor Interface for High-Quality Microaccelerometer 会议论文
IEEE Sensors 2010 Conference, 美国, 40483
叶珍华; 王瑜; 尹韬
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2011/06/02
Experimental Study of Cushion Materials for Microaccelerometers under shock load 其他
2011-01-01
Wang Shitao; Jia Yubin; Zhang Binzhen; Lei Yinhua; Huang Qinwen; Hao Yilong
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梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化 期刊论文
2010, 2010
吴天准; 董景新; 刘云峰; 赵长德; Wu Tianzhun; Dong Jingxin; Liu Yunfeng; Zhao Changde
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