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	三轴高g压阻式微加速度计的设计; Design of a Triaxial High-g Piezoresistive Microaccelerometer
	林杰 ; 林立伟 ; 郭航
	2014-07-28
关键词	三轴 高g 压阻 微加速度计 仿真 triaxial high-g piezoresistive microaccelerometer simulation
英文摘要	提出了一种三轴高g的压阻式微加速度计的设计方法.通过理论推导和计算,分析了模型的应力和频率,得到了具有较高频率的高g微加速度计的结构参数.通过有限元软件AnSyS分析确定了在获得高输出电压条件下的电阻布置方案.在此基础上,对三轴进行了200 000 g载荷下的性能研究,结果表明所设计的微加速度计具有较高的灵敏度和线性度.; This paper presents a method of designing a tri-axial high-gpiezo-resistive micro-accelerometer.First,the equivalent mechanics model of the micro-accelerometer is set up,and then the theoretical analysis of stress and frequency are conducted to obtain the structure parameters.Furthermore,FEM in ANSYS is used to determine the positions of piezo-resistors to gain a better output voltage signal.In the end,the performance of the micro-accelerometer is studied under 200 000 gloads in three axis,and results show that the presented micro-accelerometer is associated with high sensitivity and high linearity in the high-genvironment.; 航空基金(2008ZH68002); 教育部新世纪优秀人才支持计划(2007NCET-07-0723)
语种	zh_CN
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/105829]
专题	航空航天－已发表论文
推荐引用方式 GB/T 7714	林杰,林立伟,郭航. 三轴高g压阻式微加速度计的设计, Design of a Triaxial High-g Piezoresistive Microaccelerometer[J],2014.
APA	林杰,林立伟,&郭航.(2014).三轴高g压阻式微加速度计的设计..
MLA	林杰,et al."三轴高g压阻式微加速度计的设计".(2014).

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