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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Study on rotation-free combined immersion magneto-electrostatic lenses 期刊论文 OPTIK, 2012, 卷号: 123, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 1233-1235 作者:  Zhao, Jingyi;  Tang, Tiantong;  Kang, Yongfeng;  Sun, Wenjun 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/12/10 Rotation-free electron lenses  magneto-electrostatic lenses  Projection lithography systems  Combined immersion