×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
半导体研究所 [32]
北京大学 [26]
上海光学精密机械研... [20]
长春光学精密机械与... [15]
电工研究所 [15]
上海微系统与信息技... [11]
更多...
内容类型
期刊论文 [122]
学位论文 [32]
其他 [9]
会议论文 [8]
专利 [5]
外文期刊 [1]
更多...
发表日期
2021 [2]
2020 [2]
2019 [5]
2017 [10]
2016 [7]
2015 [6]
更多...
学科主题
光电子学 [15]
信息与系统科学相关工... [8]
半导体材料 [8]
光学工程 [5]
微电子学 [3]
半导体物理 [2]
更多...
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共177条,第1-10条
帮助
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
Theoretical Exposure Dose Modeling and Phase Modulation to Pattern a VLS Plane Grating with Variable-Period Scanning Beam Interference Lithography
期刊论文
Applied Sciences-Basel, 2022, 卷号: 12, 期号: 15, 页码: 13
作者:
Y. Song
;
N. Zhang
;
Y. J. Liu
;
L. Zhang and Z. W. Liu
收藏
  |  
浏览/下载:0/0
  |  
提交时间:2023/06/14
Theoretical study of micro-structure fabrication by multi-beam laser interference lithography with different polarization combinations
期刊论文
MODERN PHYSICS LETTERS B, 2021, 卷号: 35, 期号: 32
作者:
Wang, Xiangxian
;
Jia, Tianxu
;
Zhu, Jiankai
;
Su, Yingwen
;
Zhang, Liping
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2021/12/17
Laser interference lithography
polarization
periodic pattern
Critical-dimension scanning electron microscope characterization of smoothly varying wave structures with a Monte Carlo simulation
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2021, 卷号: 54
作者:
Khan, M. S. S.
;
Yang, L. H.
;
Deng, X.
;
Mao, S. F.
;
Zou, Y. B.
收藏
  |  
浏览/下载:65/0
  |  
提交时间:2021/09/06
linescan
nano characterization
CD-SEM
Monte Carlo simulation
atom lithography
Nanofabrication of 30 nm Au zone plates by e-beam lithography and pulse voltage electroplating for soft x-ray imaging
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2020, 卷号: 225, 页码: -
作者:
收藏
  |  
浏览/下载:23/0
  |  
提交时间:2021/09/06
Nanofabrication of 50 nm zone plates through e-beam lithography with local proximity effect correction for x-ray imaging
期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2020, 卷号: 29, 期号: 4, 页码: -
作者:
Zhu, JY
;
Zhang, SC
;
Xie, SS
;
Xu, C
;
Zhang, LJ
收藏
  |  
浏览/下载:32/0
  |  
提交时间:2021/09/06
Structural and electronic properties of transition-metal chalcogenides Mo5S4 nanowires
期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2019, 卷号: 28, 期号: 10, 页码: 6
作者:
Qiu, Ming-Shuai
;
Guo, Huai-Hong
;
Zhang, Ye
;
Dong, Bao-Juan
;
Ali, Sajjad
收藏
  |  
浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2021/02/02
transition-metal chalcogenide nanowire
Fabrication of a Three-Dimensional Plasmon Ruler Using an Atomic Force Microscope
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C, 2019, 卷号: 123, 期号: 32, 页码: 19871-19878
作者:
Lu, Jianing
;
Liu, Shaoding
;
Collins, Sean S. E.
;
Tang, Linlong
;
Wei, Xingzhan
收藏
  |  
浏览/下载:37/0
  |  
提交时间:2019/12/03
Design and fabrication of an artificial compound eye for multi-spectral imaging
期刊论文
Micromachines, 2019, 卷号: 10, 期号: 3
作者:
Cao, Axiu
;
Pang, Hui
;
Zhang, Man
;
Shi, Lifang
;
Deng, Qiling
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2021/05/06
artificial compound eye
multi-spectral imaging
lithography
spectral splitting
Fast and large-area fabrication of plasmonic reflection color filters by achromatic Talbot lithography
期刊论文
OPTICS LETTERS, 2019, 卷号: 44, 期号: 4, 页码: 1031—1034
作者:
Wu, QJ
;
Xia, HJ
;
Jia, H
;
Wang, H
;
Jiang, C
收藏
  |  
浏览/下载:18/0
  |  
提交时间:2019/12/30
HIGH-RESOLUTION
ARRAYS
LIGHT
Nonuniform self-imaging of achromatic Talbot lithography
期刊论文
CHINESE OPTICS LETTERS, 2019, 卷号: 17, 期号: 6, 页码: -
作者:
Xia, HJ
;
Yang, SM
;
Wang, LS
;
Zhao, J
;
Xue, CF
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2020/10/16
INTERFEROMETRIC LITHOGRAPHY
INTERFERENCE
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace