×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
厦门大学 [50]
大连理工大学 [1]
光电技术研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [39]
学位论文 [12]
其他 [1]
发表日期
2016 [2]
2014 [3]
2013 [5]
2011 [1]
2009 [2]
2008 [5]
更多...
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共52条,第1-10条
帮助
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
基于约束化学刻蚀的新型电化学微加工方法及其应用
学位论文
2016, 2015
张杰
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2017/06/20
约束刻蚀剂层技术
屈曲
电化学屈曲微加工技术
复杂三维多级结构
纳米压印
金属腐蚀刻蚀
电化学纳米压印技术
Confined etchant layer technique
Buckling
Electrochemical buckling microfabrication
Complex 3D hierarchical structures
Nanoimprint lithography
Metal assisted chemical etching
Electrochemical nanoimprint lithography
基于氧化还原水合凝胶纳米膜的电化学加工:纳米精度的铜抛光整平
学位论文
2016, 2013
张红万
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2017/06/20
纳米加工
氧化还原纳米膜
约束刻蚀
平坦化
铜互连结构
Nano-machining
Redox polymer
Confined etchant layer technique
planarization
Cu interconnection
Kinetic investigation on the confined etching system of n-type gallium arsenide by scanning electrochemical microscopy
期刊论文
http://dx.doi.org/10.1021/jp5056446, 2014
Zhang, Jie
;
Jia, Jingchun
;
Han, Lianhuan
;
Yuan, Ye
;
Tian, Zhong-Qun
;
Tian, Zhao-Wu
;
Zhan, Dongping
;
张洁
;
田中群
;
田昭武
;
詹东平
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2015/07/22
Cystines
Gallium arsenide
Physical chemistry
Reaction rates
Scanning electron microscopy
Scanning probe microscopy
Semiconducting gallium
New Strategy for Electrochemical Micropatterning of Nafion Film in Sulfuric Acid Solution
期刊论文
http://dx.doi.org/10.1016/j.electacta.2014.09.044, 2014
Wang, Cheng
;
Zhang, Hong-Wan
;
Zhang, Jin-Fu
;
Wu, Dan
;
Tian, Zhong-Qun
;
Tian, Zhao-Wu
;
Shi, Kang
;
王程
;
田中群
;
田昭武
;
时康
收藏
  |  
浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2015/07/22
Copper
Deposition
Electrolytic cells
Functional polymers
Molds
Oxidation
Reaction intermediates
Reaction kinetics
Redox reactions
基于二氧化钛纳米管阵列的光诱导约束刻蚀体系初探
学位论文
2014, 2013
方秋艳
收藏
  |  
浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2016/01/14
光诱导约束刻蚀体系
羟基自由基
二氧化钛纳米管阵列
平坦化
光催化沉积
photoinduced confined chemical etching system
hydroxyl radical
TiO2 Nanotube Arrays
planarization
photodeposition
Numerical studies on scavenging reaction in confined etchant layer technique (CELT)
期刊论文
http://dx.doi.org/10.1016/j.jelechem.2013.07.015, 2013
Zhou, Ping
;
Kang, Renke
;
Shi, Kang
;
Guo, Dongming
;
Shan, Kun
;
Li, Zhe
;
时康
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2015/07/22
SCANNING ELECTROCHEMICAL MICROSCOPY
N-GAAS
LITHOGRAPHY
MICROFABRICATION
SURFACES
PROBE
Electrochemical mechanical micromachining based on confined etchant layer technique
期刊论文
http://dx.doi.org/10.1039/c3fd00008g, 2013
Yuan, Ye
;
Han, Lianhuan
;
Zhang, Jie
;
Jia, Jingchun
;
Zhao, Xuesen
;
Cao, Yongzhi
;
Hu, Zhenjiang
;
Yan, Yongda
;
Dong, Shen
;
Tian, Zhong-Qun
;
Tian, Zhao-Wu
;
Zhan, Dongping
;
张洁
;
田中群
;
田昭武
;
詹东平
收藏
  |  
浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2015/07/22
N-GAAS
LIGA
MICROFABRICATION
MICROSCOPY
NICKEL
MEMS
A novel planarization method based on photoinduced confined chemical etching
期刊论文
http://dx.doi.org/10.1039/c3cc42368a, 2013
Fang, Qiuyan
;
Zhou, Jian-Zhang
;
Zhan, Dongping
;
Shi, Kang
;
Tian, Zhao-Wu
;
Tian, Zhong-Qun
;
周剑章
;
詹东平
;
时康
;
田昭武
;
田中群
收藏
  |  
浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2015/07/22
ETCHANT LAYER TECHNIQUE
MECHANICAL PLANARIZATION
N-GAAS
RADICALS
COPPER
CATALYST
H2O2
High precision electrochemical micromachining based on confined etchant layer technique
期刊论文
http://dx.doi.org/10.1016/j.elecom.2012.12.017, 2013
Lai, Lei-Jie
;
Zhou, Hang
;
Du, Yu-Jie
;
Zhang, Jie
;
Jia, Jing-Chun
;
Jiang, Li-Min
;
Zhu, Li-Min
;
Tian, Zhao-Wu
;
Tian, Zhong-Qun
;
Zhan, Dong-Ping
;
田昭武
;
田中群
;
詹东平
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2015/07/22
N-GAAS
MICROFABRICATION
Numerical studies on scavenging reaction in confined etchant layer technique (CELT)
期刊论文
JOURNAL OF ELECTROANALYTICAL CHEMISTRY, 2013, 卷号: 705, 页码: 1-7
作者:
Zhou, Ping
;
Kang, Renke
;
Shi, Kang
;
Guo, Dongming
;
Shan, Kun
收藏
  |  
浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2019/12/11
Confined etchant layer technique
Micromachining
Chemical etching
Numerical simulation
Finite element method
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace