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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 PIC/MCC simulation of capacitively coupled discharges in helium: boundary effects 期刊论文 PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2018, 卷号: 27 作者:  Sun, Anbang;  Becker, Markus M.;  Loffhagen, D. 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/11/26 boundary effect  CCRF discharge  PIC/MCC simulation   容性耦合射频（CCRF）放电等离子体特性实验研究 期刊论文 真空科学与技术, 2002, 卷号: 022 作者:  Teuner D;  黄建军;  刘正之;  梁荣庆 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/10/26 容性耦合射频放电  等离子体  实验研究  等效电路模型  放电特性