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| 一种电子束光刻加工圆形阵列的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN 101916038 B, 申请日期: 2012-01-25, 公开日期: 2012-09-25
作者: 董艳 ; 时文华
  收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2012/09/25 |
| 一种新型电子束曝光文件格式设计及其应用 期刊论文
2010, 2010
李晓娜; 张今朝; 刘伟; 孙红三; 韩立; LI Xiao-na; ZHANG Jin-zhao; LIU Wei; SUN Hong-san; HAN Li
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| 基于扫描电镜的电子束曝光机对准系统的研制 期刊论文
微细加工技术, 2010
方光荣
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2010/09/29 |
| 小型微纳米图形电子束曝光制作系统(英文) 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2010, 期号: 04
殷伯华; 方光荣; 刘俊标; 靳鹏云; 薛虹; 吕士龙
收藏 | 浏览/下载：39/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 电子束曝光机对准软件研究 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2006
1张今朝,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 扫描电子束曝光机背散射电子检测与对准技术的研究 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2005
1李晨菲,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2005
1刘珠明,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 基于DSP的新型图形发生器主控制器的研究 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2004
1郭颖,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 纳米电子束曝光 期刊论文
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: 1, 页码: 5，24-28
作者: 刘明; 陈宝钦
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2010/05/25
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| 以DSP处理器为核心的新型图形发生器实用化研究 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2003
1张鹏,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2010/10/18
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