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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2020/08/24
一种空间采样率可变的哈特曼波前传感器的研究 学位论文
中国科学院大学光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  魏文举
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2019/06/03
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2014
代晓珂
收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2015/05/03
大口径标准球面镜组研制与应用 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 287-292
薛栋林
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2015/04/17
点衍射干涉仪系统误差标定 期刊论文
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 7, 页码: 0712003-1-5
作者:  许嘉俊;  邢廷文
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2016/11/01
纳米级针孔矢量衍射波前误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2012, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 499-505
作者:  王俐;  饶长辉;  饶学军
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2016/11/15
光纤点衍射干涉仪数据处理与系统标定 学位论文
硕士, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2003
曹晓君
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2012/03/21


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