纳米级针孔矢量衍射波前误差分析

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	纳米级针孔矢量衍射波前误差分析
	王俐 ; 饶长辉 ; 饶学军
刊名	光学精密工程
	2012
卷号	20 期号:3 页码:499-505
关键词	光学检测波前误差会聚高斯光束矢量衍射 Hartmann-Shack波前检测仪时域有限差分法
通讯作者	王俐
中文摘要	应用哈特曼一夏克（H-S）波前检测仪检测大数值孔径（NA）透镜时，需要采用纳米级针孔产生参考球面波前对H-S传感器进行标定。为了制作出满足要求的高质量针孔，本文对影响参考波前质量的各种要素进行了仿真计算和分析，以获得最优针孔加工参数。基于矢量衍射理论，在会聚高斯光束照射下，计算了针孔厚度和直径大小对衍射波前误差的影响，衍射波前中的像差成份、能量透过率、强度均匀性、针孔加工误差及光束相对针孔中心发生平移、离焦、倾斜时衍射波前误差的变化。分析计算显示，在NA为0．5时，为了使相对于理想球面波的波峰波谷值
收录类别	Ei
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6279]
专题	光电技术研究所_自适应光学技术研究室（八室）
作者单位	1.中国科学院光电技术研究所自适应光学国家重点实验室,四川成都610209 2.中国科学院研究生院,北京100048
推荐引用方式 GB/T 7714	王俐,饶长辉,饶学军. 纳米级针孔矢量衍射波前误差分析[J]. 光学精密工程,2012,20(3):499-505.
APA	王俐,饶长辉,&饶学军.(2012).纳米级针孔矢量衍射波前误差分析.光学精密工程,20(3),499-505.
MLA	王俐,et al."纳米级针孔矢量衍射波前误差分析".光学精密工程 20.3(2012):499-505.