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2014 [2]
2011 [1]
2010 [1]
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激光剥离GaN表面的抛光技术
期刊论文
2014
应磊莹
;
刘文杰
;
张江勇
;
胡晓龙
;
张保平
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2016/05/17
激光剥离(LLO)
GaN
化学机械抛光(CMP)
垂直结构发光二极管(VSLED)
谐振腔发光二极管(RCLED)
垂直腔面发射激光器(VCSEL)
laser lift-off(LLO)
GaN
chemical mechanical polishing(CMP)
vertical-structured light-emitting diode(VSLED)
resonant-cavity light-emitting diode(RCLED)
vertical-cavity surface emitting laser(VCSEL)
激光剥离GaN表面的抛光技术
期刊论文
《半导体技术》, 2014, 卷号: 39, 页码: 758-762
作者:
应磊莹[1]
;
刘文杰[2]
;
张江勇[1]
;
胡晓龙[2,3]
;
张保平[1,2]
收藏
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浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2019/04/25
激光剥离(LLO)
GAN 化学机械抛光(CMP)
垂直结构发光二极管(VSLED)
谐振腔发光二极管(RCLED)
垂直腔面发射激光器(VCSEL)
以蓝宝石为衬底外延生长的氮化镓基膜材料的电子显微学研究
学位论文
博士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2011
闫鹏飞
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2013/04/12
氮化镓
位错
电子显微学
氧化铝
GaN基LED与Si键合技术的研究
期刊论文
2010
阮育娇
;
张小英
;
陈松岩
;
李成
;
赖虹凯
;
汤丁亮
收藏
  |  
浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2016/05/17
晶片键合
金属过渡层
激光剥离
GaN基LED
wafer bonding
intermediate metals
laser lift-off
GaN-based LED
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