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| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊
  收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 周期性纳米金属粒子表面等离子体共振的调控及应用 学位论文
: 中国科学院研究生院(上海应用物理研究所), 2017
作者: 刘星
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2017/12/08
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| 大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者: 陈琦
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 方伟
收藏 | 浏览/下载：121/0 | 提交时间：2016/11/28
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| Lens Surface Distance Measurement with Large Range and High Precision Based on Low Coherence Interferometry 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 612001
作者: Shi ZH(师中华); Huang HJ(黄惠杰); Li J(李璟); Wei ZF(魏张帆); Jin CQ(金超群)
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| Lens Surface Distance Measurement with Large Range and High Precision Based on Low Coherence Interferometry 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 612001
作者: Yang BX(杨宝喜); Hu XB(胡小邦); Jin CQ(金超群); Wei ZF(魏张帆); Huang HJ(黄惠杰)
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 扫描干涉场曝光系统干涉条纹测量与调整方法研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 姜珊
收藏 | 浏览/下载：101/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 李永
收藏 | 浏览/下载：78/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2015/04/17
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| 基于达曼光栅的并行激光直写光刻机研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者: 朱锋
收藏 | 浏览/下载：139/0 | 提交时间：2016/11/28
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