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基于湿法预释放结构的MEMS红外光源 专利
专利号: CN201621033986.3, 申请日期: 2017-03-15,
作者:  王玮冰;  陈大鹏;  孙西龙;  刘卫兵;  明安杰
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微型压电振动能量收集器及其制造方法 专利
申请日期: 2012-01-01,
作者:  欧毅;  吴航;  郑陶雷;  欧文;  刘宇
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微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术 期刊论文
传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 885-890
王家畴; 刘洁丹; 李昕欣
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基于架空金属线桥的微机电系统磁执行器的制作方法 专利
专利号: CN200710121075.5, 公开日期: 2009-03-04
作者:  景玉鹏
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一种微机电系统磁执行器的制作方法 专利
专利号: CN200710121074.0, 公开日期: 2009-03-04
作者:  陈大鹏;  叶甜春;  易亮;  欧毅;  景玉鹏
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一种双层结构的微机电系统微磁执行器的制作方法 专利
专利号: CN200710121076.X, 公开日期: 2009-03-04
作者:  叶甜春;  易亮;  欧毅;  陈大鹏;  景玉鹏
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