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微电子研究所 [5]
上海微系统与信息技术... [1]
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专利 [5]
期刊论文 [1]
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2017 [1]
2012 [2]
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基于湿法预释放结构的MEMS红外光源
专利
专利号: CN201621033986.3, 申请日期: 2017-03-15,
作者:
王玮冰
;
陈大鹏
;
孙西龙
;
刘卫兵
;
明安杰
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2018/02/05
微型压电振动能量收集器及其制造方法
专利
申请日期: 2012-01-01,
作者:
欧毅
;
吴航
;
郑陶雷
;
欧文
;
刘宇
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2018/02/01
微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术
期刊论文
传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 885-890
王家畴
;
刘洁丹
;
李昕欣
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2013/02/22
MEMS
MISSM技术
单硅片单面加工
微型释放窗口
基于架空金属线桥的微机电系统磁执行器的制作方法
专利
专利号: CN200710121075.5, 公开日期: 2009-03-04
作者:
景玉鹏
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2010/11/26
一种微机电系统磁执行器的制作方法
专利
专利号: CN200710121074.0, 公开日期: 2009-03-04
作者:
陈大鹏
;
叶甜春
;
易亮
;
欧毅
;
景玉鹏
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2010/11/26
一种双层结构的微机电系统微磁执行器的制作方法
专利
专利号: CN200710121076.X, 公开日期: 2009-03-04
作者:
叶甜春
;
易亮
;
欧毅
;
陈大鹏
;
景玉鹏
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2010/11/26
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