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兰州大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1992 [1]
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直流等离子体化学汽相沉积法合成的金刚石膜的内应力研究
期刊论文
物理学报, 1992, 期号: 11, 页码: 1906-1912
作者:
王万录
;
高锦英
;
廖克俊
;
刘爱民
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提交时间:2015/04/27
金刚石膜:7489
内应力:3309
汽相沉积:2845
衬底温度:2531
等离子体化学:2428
金刚石颗粒:1946
张应力:1825
压缩应力:1764
直流:1088
晶粒间界:1063
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