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期刊论文 [2]
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2014 [2]
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激光剥离GaN表面的抛光技术
期刊论文
2014
应磊莹
;
刘文杰
;
张江勇
;
胡晓龙
;
张保平
收藏
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提交时间:2016/05/17
激光剥离(LLO)
GaN
化学机械抛光(CMP)
垂直结构发光二极管(VSLED)
谐振腔发光二极管(RCLED)
垂直腔面发射激光器(VCSEL)
laser lift-off(LLO)
GaN
chemical mechanical polishing(CMP)
vertical-structured light-emitting diode(VSLED)
resonant-cavity light-emitting diode(RCLED)
vertical-cavity surface emitting laser(VCSEL)
激光剥离GaN表面的抛光技术
期刊论文
《半导体技术》, 2014, 卷号: 39, 页码: 758-762
作者:
应磊莹[1]
;
刘文杰[2]
;
张江勇[1]
;
胡晓龙[2,3]
;
张保平[1,2]
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2019/04/25
激光剥离(LLO)
GAN 化学机械抛光(CMP)
垂直结构发光二极管(VSLED)
谐振腔发光二极管(RCLED)
垂直腔面发射激光器(VCSEL)
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