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直流弧光放电化学气相沉积(CVD)法制备金刚石薄膜及其等离子体的光发射谱原位测量 期刊论文
物理学报, 1990, 期号: 12, 页码: 1965-1969+2030
作者:  张仿清;  张亚非;  杨映虎;  李敬起;  陈光华
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