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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅 期刊论文 强激光与粒子束, 2019, 卷号: 31, 期号: 06, 页码: 7-15 作者:  王琼;  沈晨;  谭鑫;  齐向东;  巴音贺希格 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/08/24 凸面闪耀光栅  摆动刻蚀  衍射效率  成像光谱仪   CF_4/Ar感性耦合等离子体增强准原子层刻蚀SiO_2多尺度研究 学位论文 : 大连理工大学, 2018 作者:  杨雪 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/02 原子层刻蚀  离子能量角度分布  刻蚀槽形貌演化  深宽比依赖效应