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机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究 期刊论文
机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40
作者:  张宝庆;  张绍泽;  曹聪;  高劲松
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2021/07/06
揭秘“精密机械之王” 期刊论文
中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62
作者:  唐玉国;  巴音贺希格;  竺长安;  金一
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/17
大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  姚雪峰
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/23
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2019/09/23
残余应力与基底效应对光栅厚铝膜纳米压痕耦合影响研究 期刊论文
制造技术与机床, 2018, 期号: 06, 页码: 58-62
作者:  张宝庆;  王占鹏;  庞壮;  韦赟杰;  孙立华
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2019/09/17
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天
收藏  |  浏览/下载:39/0  |  提交时间:2018/04/09
基底温度对中阶梯光栅厚铝膜质量的影响 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 656-662
作者:  杨海贵;  孙梦至;  王笑夷;  高劲松;  李资政
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2017/09/17
大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 09, 页码: 2057-2067
作者:  何煦;  成贤锴
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2016/07/06
大光栅刻划机刻划系统结构设计与刻线弯曲误差机械修正 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  宋楠
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2015/11/30
大尺寸光栅刻槽误差校正及在线监测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨超
收藏  |  浏览/下载:63/0  |  提交时间:2015/11/30


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