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| 接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 张绍宇
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| 一种泛光照明模组的晶圆级封装结构及封装方法 专利
专利号: CN110190036A, 申请日期: 2019-08-30, 公开日期: 2019-08-30
作者: 李卫士; 杨超
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2019/12/30 |
| 应用于VCSEL结构外延片的光致发光测试的逐层刻蚀方法及其VCSEL结构外延片 专利
专利号: CN109507006A, 申请日期: 2019-03-22, 公开日期: 2019-03-22
作者: 张杨; 李弋洋
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| 金属石墨烯双面接触结构的制备方法及石墨烯晶体管 专利
专利号: CN201610306028.7, 申请日期: 2018-09-11, 公开日期: 2016-08-31
作者: 彭松昂 ; 张大勇; 史敬元; 金智; 毛达诚
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| 一种碳化硅MOSFET沟道自对准工艺实现方法 专利
专利号: CN201510564659.4, 申请日期: 2018-07-20, 公开日期: 2015-11-18
作者: 彭朝阳; 刘新宇; 刘国友; 李诚瞻; 汤益丹
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| 硅基单片集成激光器 专利
专利号: CN206931836U, 申请日期: 2018-01-26, 公开日期: 2018-01-26
作者: 仇超; 龚谦; 武爱民; 高腾; 盛振
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| 基于CMOS硅基平台的低成本多芯片选区异质集成方法 专利
专利号: CN107634033A, 申请日期: 2018-01-26, 公开日期: 2018-01-26
作者: 冯朋; 肖希; 王磊; 李淼峰; 杨奇
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| 一种外腔调谐激光器 专利
专利号: CN105119142B, 申请日期: 2018-01-23, 公开日期: 2018-01-23
作者: 张忠祥
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| 一种用于激光直接成像光刻的对准镜头 专利
申请日期: 2018-01-01,
作者: 周胜; 俞本立; 张磊; 李劲松
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| 激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器 专利
专利号: CN107306011A, 申请日期: 2017-10-31, 公开日期: 2017-10-31
作者: 徐云; 宋玉志; 宋甲坤; 张祖银; 陈良惠
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