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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2011    学科主题：微电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Effects of sputtering power on phase transition of vanadium oxide thin film by radio frequency magnetron sputtering 期刊论文 tianjin daxue xuebao(ziran kexue yu gongcheng jishu ban)/journal of tianjin university science and technology, 2011, 卷号: 44, 期号: 10, 页码: 847-851 Liang, Ji-Ran; Hu, Ming; Liang, Xiu-Qin; Kan, Qiang; Chen, Tao; Chen, Hong-Da 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/06/14 Annealing  Magnetron sputtering  Oxide films  Oxides  Photoelectron spectroscopy  Thin films  Vanadium  Vanadium alloys  Vanadium compounds  X ray diffraction  X ray diffraction analysis  X ray photoelectron spectroscopy   Stability of Mechanical Properties for Submicrometer Single-Crystal Silicon Cantilever Under Cyclic Load 期刊论文 journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 178-183 Zhu YF; Zhang FX; Yang JL; Zheng HY; Yang FH 收藏  |  浏览/下载：52/8  |  提交时间：2011/07/06 Cyclic  mechanical property  resonant frequency  stability  submicrometer-thick cantilever  ENERGY-DISSIPATION  STRUCTURAL FILMS  THIN-FILMS  FATIGUE