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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：1998    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 193nm与x射线光刻技术比较 期刊论文 半导体技术, 1998, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 4，1-4 作者:  叶甜春;  谢常青 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2010/05/25 光源  照明系统  掩模  光刻胶  光刻机  激光技术  Ic