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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2005 [1]
2004 [1]
2003 [1]
学科主题
Chemistry,... [1]
Materials ... [1]
Physics, A... [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Structure and thermal stability of (Zr0.6Al0.4)O-1.8 thin film on strained SiGe layer
期刊论文
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2005, 卷号: 351, 期号: 1, 页码: 93-96
Di, ZF
;
Zhang, M
;
Liu, WL
;
Luo, SH
;
An, ZH
;
Zhang, ZX
;
Lin, CL
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
ELECTRICAL-PROPERTIES
OXIDES
Investigation of SiGe-on-insulator novel structure
期刊论文
JOURNAL OF RARE EARTHS, 2004, 卷号: 22, 页码: 13-16
Lin, CL
;
Liu, WL
;
An, ZH
;
Di, ZF
;
Zhang, M
收藏
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浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2012/03/24
STRAINED-SI
SUBSTRATE
SILICON
MOSFETS
Relaxed silicon-germanium-on-insulator substrates by oxygen implantation into pseudomorphic silicon germanium/silicon heterostructure
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 82, 期号: 15, 页码: 2452-2454
An, ZH
;
Wu, YJ
;
Zhang, M
;
Di, ZF
;
Lin, CL
;
Fu, RKY
;
Chen, P
;
Chu, PK
;
Cheung, WY
;
Wong, SP
收藏
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浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2012/03/24
HOLE MOBILITY ENHANCEMENT
STRAINED-SI
ELECTRON
MOSFETS
LAYER
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