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浏览/检索结果: 共13条，第1-10条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Investigation of PECVD SiC nano film 其他 2007-01-01 Zhe, Chen; Dayu, Tian; Guobing, Zhang; Haixia, Zhang 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/10 In-situ doped and laser annealing of PECVD SiC thin film 其他 2007-01-01 Haixia, Zhang; Hui, Guo; Rui, Luo; Guobing, Zhang 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/10 Investigation of nano SiC resonator 其他 2007-01-01 Chen, Zhe; Tian, Dayu; Zhang, Guobing; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/16 nano resonator  Silicon Carbide  high frequency  high Q   Application of PECVD SiC in glass micromachining 其他 2007-01-01 Zhang, Haixia; Guo, Hui; Chen, Zhe; Zhang, Guobing; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/12/03 In-situ doped and laser annealing of PECVD SiC thin film 其他 2007-01-01 Zhang, Haixia; Guo, Hui; Luo, Rui; Zhang, Guobing 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 PECVD SiC  thin film  in-situ doping  laser annealing  SILICON-CARBIDE   Investigation of PECVD SiC Nano Film 其他 2007-01-01 Chen, Zhe; Tian, Dayu; Zhang, Guobing; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 SiC  PECVD  nano film  laser annealing   Fabrication and test of PECVD SiC resonator 其他 2007-01-01 Wang, Yu; Guo, Hui; Zhang, Haixia; Zhang, Guobing; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 Modifying residual stress and stress gradient in LPCVD Si3N4 film with ion implantation 其他 2006-01-01 Shi, Wendian; Zhang, Haixia; Zhang, Guobing; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/12 LPCVD Si3N4  residual stress  stress gradient  ion implantation  thermal annealing  INTERNAL-STRESS  THIN-FILMS   PECVD SiC as a chemical resistant material in MEMS 其他 2006-01-01 Guo, Hui; Wang, Yu; Chen, Sheng; Zhang, Guobing; Zhang, Haixia; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/16 PECVD  SiC  etch mask  device protection  MEMS   Modifying residual stress and stress gradient in LPCVD SI3N 4 film with ion implantation 其他 2005-01-01 Shi, Wendian; Zhang, Haixia; Wang, Shasha; Zhang, Guobing; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13