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Intensity modulation based optical proximity optimization for the maskless lithography 期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2020, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 548-557
作者:  Liu, Jianghui;  Liu, Junbo;  Deng, Qingyuan;  Feng, Jinhua;  Zhou, Shaolin
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