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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2014    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 The experiment research of gas-assisted ion etching nanograting 会议论文 15th Annual Conference of the Chinese-Society-of-Micro-Nano-Technology (CSMNT) / 4th International Conference of the Chinese-Society-of-Micro-Nano-Technology (CSMNT), Tianjin, PEOPLES R CHINA, 2014-01-01 作者:  Liu, Meihua;  Feng, Di;  Li, Yan;  Yao, Baoyin;  Zhong, Shuai 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2020/01/06 nanograting  SEM-FIB dual beam system  ion beam etching  gas-assisted ion etching  exposure time