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科研机构
上海微系统与信息技术... [7]
内容类型
期刊论文 [7]
发表日期
2011 [7]
学科主题
Engineerin... [7]
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发表日期:2011
学科主题:Engineering
专题:上海微系统与信息技术研究所
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Sb-rich Si-Sb-Te Phase-Change Material for Phase-Change Random Access Memory Applications
期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2011, 卷号: 58, 期号: 12, 页码: 4423-4426
Wu,LC
;
Zhou,XL
;
Song,ZT
;
Zhu,M
;
Cheng,Y
;
Rao,F
;
Song,SN
;
Liu,B
;
Feng,SL
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/04/10
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
Design and Fabrication of Dual-Trench Epitaxial Diode Array for High-Density Phase-Change Memory
期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2011, 卷号: 32, 期号: 8, 页码: 1014-1016
Zhang,C
;
Song,ZT
;
Wu,GP
;
Liu,B
;
Wan,XD
;
Wang,L
;
Wang,LH
;
Yang,ZY
;
Chen,B
;
Feng,SL
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/04/10
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
Metal-Grating-Coupled Terahertz Quantum-Well Photodetectors
期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2011, 卷号: 32, 期号: 5, 页码: 659-661
Zhang,R
;
Guo,XG
;
Song,CY
;
Buchanan,M
;
Wasilewski,ZR
;
Cao,JC
;
Liu,HC
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/04/10
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
Influence of pH and abrasive concentration on polishing rate of amorphous Ge2Sb2Te5 film in chemical mechanical polishing
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 11020
Zhang,ZF
;
Liu,WL
;
Song,ZT
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/04/10
A V S AMER INST PHYSICS
Effect of hydrogen peroxide concentration on surface micro- roughness of silicon wafer after final polishing
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2011, 卷号: 88, 期号: 6, 页码: 1010-1015
Wang,HB
;
Song,ZT
;
Liu,WL
;
Kong,H
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/04/10
ELSEVIER SCIENCE BV
Effect of mechanical process parameters on friction behavior and material removal during sapphire chemical mechanical polishing
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2011, 卷号: 88, 期号: 9, 页码: 3020-3023
Zhang,ZF
;
Yan,WX
;
Zhang,L
;
Liu,WL
;
Song,ZT
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/04/10
ELSEVIER SCIENCE BV
Design and Fabrication of Dual-Trench Epitaxial Diode Array for High-Density Phase-Change Memory
期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2011, 卷号: 32, 期号: 8, 页码: 1014-1016
Zhang, C
;
song, zt(重点实验室)
;
Wu, GP
;
Liu, B(重点实验室)
;
Wan, XD
;
Wang, L
;
Wang, LH
;
Yang, ZY
;
Chen, B
;
Feng, SL(重点实验室)
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/05/10
Engineering
Electrical & Electronic
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