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半导体激光器及其制作方法 专利
专利号: CN106887789B, 申请日期: 2019-10-18, 公开日期: 2019-10-18
作者:  黄莹;  刘建平;  程洋;  黄思溢;  张书明
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一种GaN基低阶表面光栅DFB激光器的制备方法 专利
专利号: CN109462144A, 申请日期: 2019-03-12, 公开日期: 2019-03-12
作者:  李俊泽;  张建;  邓泽佳;  杨浩军;  李沫
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纳米压印法实现DFB激光器脊波导上绝缘层开窗工艺 专利
专利号: CN108963753A, 申请日期: 2018-12-07, 公开日期: 2018-12-07
作者:  曲迪;  白国人;  陈墨;  靳春艳;  宋学颍
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电注入长波长硅基纳米激光器阵列的外延材料制备方法 专利
专利号: CN108418095A, 申请日期: 2018-08-17, 公开日期: 2018-08-17
作者:  王俊;  胡海洋;  成卓;  杨泽园;  尹海鹰
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GaN基半导体器件及其制作方法 专利
专利号: CN106684213A, 申请日期: 2017-05-17, 公开日期: 2017-05-17
作者:  严威;  孙逸;  冯美鑫;  周宇;  孙钱
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一种纳米图形衬底侧向外延硅基量子点激光器材料及其制备方法 专利
专利号: CN106480498A, 申请日期: 2017-03-08, 公开日期: 2017-03-08
作者:  王俊;  胡海洋;  成卓;  樊宜冰;  马浩源
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一种可提高图形深宽比的纳米压印方法及其产品 专利
专利号: CN102910579A, 申请日期: 2013-02-06, 公开日期: 2013-02-06
作者:  王智浩;  刘文;  孙堂友;  左强
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一种基于紫外光刻工艺的深亚微米刻蚀槽制作方法 专利
专利号: CN102738698A, 申请日期: 2012-10-17, 公开日期: 2012-10-17
作者:  王磊;  邹立;  何建军
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