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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：自动化研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Control Strategy for a Low Cost Manipulator to Transport and Align IC Mask-Plates 期刊论文 IEEE TRANSACTIONS ON CONTROL SYSTEMS TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 17, 期号: 5, 页码: 1018-1027 作者:  Xu, De;  Tan, Min;  Liu, Yun;  Wang, Jianhua 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2015/08/12 Alignment  control system  four-quadrant photodetector (FQPD)  hybrid control  integrated-circuit (IC) optical lithography  manipulator   基于PLC的运动控制与过程控制研究 学位论文 工学硕士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2008 李庆涛 收藏  |  浏览/下载：90/0  |  提交时间：2015/09/02 运动控制  过程控制  掩膜版传输  预对准  反渗透膜  膜热消毒  管道热消毒  motion control  process control  mask transport system  pre-alignment  reverse osmosis  membrane hot-disinfection  pipe hot-disinfection   掩模传输系统的运动控制与预对准方法研究 学位论文 工学博士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2007 作者:  刘云 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2015/09/02 掩模版  四象限光电探测器  粗预对准  精细预对准  显微视觉  运动控制  Petri网  photo mask  FQPD  coarse pre-alignment  fine pre-alignment  microscopic vision  motion control  Petri net