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科研机构
上海微系统与信息技... [12]
内容类型
期刊论文 [12]
发表日期
2005 [2]
2004 [2]
2003 [3]
2002 [2]
2001 [1]
1999 [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Microstructure and electrical properties of Al2O3-ZrO2 composite films for gate dielectric applications
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2005, 卷号: 476, 期号: 2, 页码: 312-316
Zhu, M
;
Chen, P
;
Fu, RKY
;
Liu, WL
;
Lin, CL
;
Chu, PK
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
THERMAL-STABILITY
ZRO2 FILMS
SILICON
LAYERS
MECHANISM
SI(100)
SI(001)
SI
Annealing effect on electrical properties of high-k MgZnO film on silicon
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2005, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: L15-L19
Liang, J
;
Wu, HZ
;
Chen, NB
;
Xu, TN
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
GATE DIELECTRICS
THIN-FILMS
ZRO2
SI
TEMPERATURE
TRANSISTORS
SI(100)
Microwave characterization of (Pb,La)TiO3 thin films integrated on ZrO2/SiO2/Si wafers by sol-gel techniques
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 85, 期号: 20, 页码: 4696-4698
Song, ZT
;
Wang, Y
;
Chan, HLW
;
Choy, CL
;
Feng, SL
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/03/24
INTERDIGITAL CAPACITORS
TEMPERATURE
FATIGUE
DEVICES
SENSOR
(PB
Structure and electric property comparison between Ge nanoclusters embedded in Al2O3 and Al2O3/ZrO2
期刊论文
METALS AND MATERIALS INTERNATIONAL, 2004, 卷号: 10, 期号: 2, 页码: 161-165
Liu, WL
;
Wan, Q
;
Lin, CL
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
SI NANOCRYSTALS
SILICON-NITRIDE
LAYERS
FILMS
PHOTOLUMINESCENCE
DIELECTRICS
STABILITY
OXIDATION
EMISSION
Microstructural and electrical properties of ZrO2 thin films prepared on silicon on insulator with thin top silicon
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 273-276
Zhang, NL
;
Song, ZT
;
Shen, QW
;
Lin, CL
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/24
FIELD-EFFECT-TRANSISTORS
K GATE DIELECTRICS
THERMAL-STABILITY
RELIABILITY
SI
Memory and negative photoconductivity effects of Ge nanocrystals embedded in ZrO2/Al2O3 gate dielectrics
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 83, 期号: 1, 页码: 138-140
Wan, Q
;
Zhang, NL
;
Liu, WL
;
Lin, CL
;
Wang, TH
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/24
SI NANOCRYSTALS
SEMICONDUCTOR STRUCTURE
ROOM-TEMPERATURE
SILICON
FILMS
SIO2-FILMS
STABILITY
GROWTH
MATRIX
Interfacial stability between zirconium oxide thin films and silicon
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2003, 卷号: 66, 期号: 1-4, 页码: 427-432
Zhang, NL
;
Song, ZT
;
Xing, S
;
Shen, QW
;
Lin, CL
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
THERMAL-STABILITY
ZRO2
SI(100)
GROWTH
SI
Interfacial and microstructural properties of zirconium oxide thin films prepared directly on silicon
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2002, 卷号: 202, 期号: 1-2, 页码: 126-130
Zhang, NL
;
Song, ZT
;
Wan, Q
;
Shen, QW
;
Lin, CL
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
THERMAL-STABILITY
ZRO2
SI(100)
High-quality ZrO2 thin films deposited on silicon by high vacuum electron beam evaporation
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2002, 卷号: 19, 期号: 3, 页码: 395-397
Zhang, NL
;
Wan, Q
;
Song, ZT
;
Shen, QW
;
Zhu, XR
;
Lin, CL
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/24
GATE DIELECTRICS
Deposition of high k ZrO2 thin films by High Vacuum Electron Beam Evaporation at room temperature
期刊论文
SOLID-STATE AND INTEGRATED-CIRCUIT TECHNOLOGY, VOLS 1 AND 2, PROCEEDINGS, 2001, 页码: 325-328
Zhang, NL
;
Wan, Q
;
Song, ZT
;
Shen, QW
;
Lin, CL
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提交时间:2012/03/24
GATE DIELECTRICS
SILICON
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