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| 高k材料Ta_2O_5结构与电学性质的研究 期刊论文 功能材料, 2011, 期号: 07 陈息林; 余涛; 吴雪梅; 董尧君; 诸葛兰剑
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| 采用精密印刷技术的玻璃浆料圆片级气密封装 期刊论文 功能材料与器件学报, 2010, 期号: 03 陈骁; 罗乐
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| 工艺条件对蓝宝石化学机械抛光的影响 期刊论文 功能材料与器件学报, 2010, 期号: 03 汪海波; 俞沁聪; 刘卫丽; 宋志棠; 张楷亮
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| 带有绝缘埋层的衬底的制备方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101355024, 申请日期: 2009-01-28, 公开日期: 2009-01-28 张苗; 张波
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| 基于自停止腐蚀的双面梁-质量块结构加速度传感器研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008 肖飞
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| GaAs/InGaP异质界面的湿法腐蚀 期刊论文 功能材料与器件学报, 2008, 期号: 03 林玲; 王伟; 徐安怀; 孙晓玮; 齐鸣
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| 用于倒装芯片的金球凸点制作技术 期刊论文 半导体技术, 2007, 期号: 11 吴燕红; 杨恒; 唐世弋
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| 氧化增强注氧隔离工艺制备绝缘体上的硅锗 期刊论文 功能材料与器件学报, 2006, 期号: 01 陈志君; 张峰; 王永进; 金波; 陈静; 张正选; 王曦
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| 基于多层SU-8结构的微喷阵列芯片的制作与应用研究 期刊论文 功能材料与器件学报, 2006, 期号: 05 许宝建; 金庆辉; 赵建龙
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| PbSe单晶薄膜的分子束外延及其表面微结构 期刊论文 材料研究学报, 2006, 期号: 06 徐天宁; 吴惠桢; 斯剑霄; 曹春芳; 黄占超
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