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高K/金属栅器件的正栅压温度不稳定特性(PBTI)及对覆盖层氮化钛的依赖性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2016
作者:  祁路伟
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2017/08/29
Influence of ultra-thin TiN thickness (1.4 nm and 2.4 nm) on positive bias temperature instability (PBTI) of high-k/metal gate nMOSFETs with gate-last process 期刊论文
Chinese Physics B, 2015
作者:  Qi LW(祁路伟);  Wang WW(王文武)
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2016/10/28
Influence of ultra-thin TiN thickness (1.4 nm and 2.4 nm) on positive bias temperature instability (PBTI) of high-k/metal gate nMOSFETs with gate-last process 期刊论文
Chinese Physics B, 2015
作者:  Qi LW(祁路伟);  Wang WW(王文武)
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2016/05/31


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