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单晶硅反射镜的超精密磨削工艺 期刊论文
光学精密工程, 2019, 卷号: 27, 页码: 1087-1095
作者:  王紫光;  康仁科;  周平;  高尚;  董志刚
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/02
金刚石砂轮磨削单晶硅片面形变化规律 期刊论文
金刚石与磨料磨具工程, 2017, 卷号: 37, 页码: 6-10
作者:  陈修艺;  刘海军;  朱祥龙;  康仁科;  董志刚
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2019/12/09
磨削速度和压力对单晶硅去除特性的影响 期刊论文
金刚石与磨料磨具工程, 2016, 卷号: 36, 页码: 1-5,10
作者:  于月滨;  王紫光;  周平;  高尚;  郭东明
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/09
单晶金刚石切削模具钢磨损机理的分子动力学仿真 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2016, 卷号: 14, 页码: 410-415
作者:  金洙吉;  谢飞;  郭晓光;  史双佶
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/09
金刚石砂轮缓进给磨削单晶硅沟槽研究 期刊论文
金刚石与磨料磨具工程, 2015, 卷号: 35, 页码: 26-32
作者:  艾小忱;  董志刚;  周平;  康仁科;  陈晓
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/09
单晶金刚石机械研磨与化学机械抛光工艺 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2015, 卷号: 13, 页码: 102-107
作者:  薛洪明;  金洙吉;  史卓颖
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摩擦化学抛光单晶金刚石的工艺研究 学位论文
: 大连理工大学, 2015
作者:  林佳志
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单晶金刚石CMP工艺及在刀具刃磨中的应用 学位论文
: 大连理工大学, 2015
作者:  薛洪明
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/09
硅片高效低损伤磨削工艺研究 学位论文
: 大连理工大学, 2014
作者:  赵喜文
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/11
单晶金刚石的研磨与化学机械抛光工艺 学位论文
: 大连理工大学, 2013
作者:  李强
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/13


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