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北京大学 [12]
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期刊论文 [10]
其他 [2]
发表日期
2015 [1]
2014 [1]
2011 [1]
2009 [3]
2007 [2]
2005 [1]
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气液界面胶体球刻蚀法制备二维有序多孔薄膜
期刊论文
化学学报, 2015
李扬
;
齐利民
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浏览/下载:112/0
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提交时间:2017/12/03
单层胶体晶体
胶体球刻蚀法
气液界面
二维有序纳米结构
自支撑多孔薄膜
纳米网
纳米碗阵列
monolayer colloidal crystals
nanosphere lithography
gas-liquid interface
2D ordered nanostructures
self-standing porous membranes
nanonets
nanobowl arrays
MONOLAYER COLLOIDAL CRYSTALS
PARTICLE IMPRINTED TEMPLATES
INVERSE OPAL FILMS
MICRO/NANOSTRUCTURED ARRAYS
AIR/WATER INTERFACE
FACILE FABRICATION
NANOBOWL ARRAYS
RINGS
SURFACE
SENSOR
国际半导体技术发展路线图(ITRS)2012版综述(3)
期刊论文
中国集成电路, 2014
赵聚晟
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/12
Pyrex7740玻璃通孔湿法腐蚀技术研究
期刊论文
功能材料与器件学报, 2011
张锦文
;
杨化冰
;
蒋巍
;
王龙
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/12
Pyrex7740玻璃 湿法腐蚀 深宽比 腐蚀掩膜
基于MEMS技术集成硅微棱镜耦合和微流道的近红外表面等离子体谐振芯片
期刊论文
纳米技术与精密工程, 2009
耿照新
;
季旭
;
王玮
;
李志宏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
表面等离子体谐振(SPR) 微流体 近红外光 硅棱镜 surface plasmon resonance (SPR) microfluidics near-infrared ray silicon prism
Ti DRIE中Lag效应的基础研究
其他
2009-01-01
张乐吟
;
赵刚
;
舒琼
;
田尧
;
陈兢
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/12
金属钛 加工工艺 感应耦合 机械特性 耐腐蚀性 微机电系统
基于硅衬底氮化镓材料的MEMS微结构加工工艺
其他
2009-01-01
吕佳楠
;
杨振川
;
闫桂珍
;
陈敬
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2015/11/12
氮化镓 微结构 加工工艺 干法刻蚀 悬浮结构
基于感光性重氮基高分子组装膜的微图像
期刊论文
化学通报印刷版, 2007
鲁从华
;
杨凌露
;
曹维孝
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
微图像 纳米颗粒 手性聚苯胺 DNA-Ag膜
基于感光性重氮基高分子组装膜的微图像
期刊论文
化学通报, 2007
鲁从华
;
杨凌露
;
曹维孝
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/10/24
微图像
纳米颗粒
手性聚苯胺
DNA-Ag膜
人工裁剪制备石墨纳米结构
期刊论文
物理学报, 2005
刘首鹏
;
周锋
;
金爱子
;
杨海方
;
马拥军
;
李辉
;
顾长志
;
吕力
;
姜博
;
郑泉水
;
王胜
;
彭练矛
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/12
高定向热解石墨 聚焦离子束刻蚀 电子束曝光 反应离子刻蚀
highly oriented pyrolytic graphite
focused ion beam etching
electron beam lithography
reactive ion etching
硅集成电路光刻技术的发展与挑战
期刊论文
半导体学报, 2002
王阳元
;
康晋锋
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
光刻
集成电路
微电子
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