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气液界面胶体球刻蚀法制备二维有序多孔薄膜 期刊论文
化学学报, 2015
李扬; 齐利民
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国际半导体技术发展路线图(ITRS)2012版综述(3) 期刊论文
中国集成电路, 2014
赵聚晟
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Pyrex7740玻璃通孔湿法腐蚀技术研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 2011
张锦文; 杨化冰; 蒋巍; 王龙
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基于MEMS技术集成硅微棱镜耦合和微流道的近红外表面等离子体谐振芯片 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2009
耿照新; 季旭; 王玮; 李志宏
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Ti DRIE中Lag效应的基础研究 其他
2009-01-01
张乐吟; 赵刚; 舒琼; 田尧; 陈兢
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基于硅衬底氮化镓材料的MEMS微结构加工工艺 其他
2009-01-01
吕佳楠; 杨振川; 闫桂珍; 陈敬
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2015/11/12
基于感光性重氮基高分子组装膜的微图像 期刊论文
化学通报印刷版, 2007
鲁从华; 杨凌露; 曹维孝
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2015/11/12
基于感光性重氮基高分子组装膜的微图像 期刊论文
化学通报, 2007
鲁从华; 杨凌露; 曹维孝
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人工裁剪制备石墨纳米结构 期刊论文
物理学报, 2005
刘首鹏; 周锋; 金爱子; 杨海方; 马拥军; 李辉; 顾长志; 吕力; 姜博; 郑泉水; 王胜; 彭练矛
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硅集成电路光刻技术的发展与挑战 期刊论文
半导体学报, 2002
王阳元; 康晋锋
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