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CZ法硅单晶生长电阻网络建模及MPC仿真分析 期刊论文
2016, 卷号: 32, 页码: 142-148,206
作者:  弋英民;  张潼
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多对流耦合环境下Cz-Si固液界面形态的仿真方法及控制参数研究 期刊论文
2012, 卷号: 41, 页码: 1762-1767
作者:  姜雷;  刘丁;  赵跃;  刘志尚
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汽相硅单晶生长 期刊论文
半导体技术, 1982, 期号: 06
斯崇奎; 黄兆斌; 杨传铮
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